文章目录

1 面向典型高频电学精密器件的微细电火花加工制造技术

1.1 微槽特征截面的控形技术

1.2 甚高频脉冲电加工电源技术

    1.2.1 甚高频放电蚀除技术

    1.2.2 基于甚高频脉冲的复合电源技术

1.3 加工过程的自适应调控技术

1.4 大长径比微结构特征的微细电火花加工技术

2 典型高频电学精密器件的微细电火花加工制造结果

3 展望

文章摘要:随着太赫兹科技的发展，电学精密器件的制造需求增加。微结构特征的尺寸精度、表面质量等对高频电学器件的电学性能有重要影响。目前要求的特征尺寸为数十微米、精度数微米、表面粗糙度数十纳米、侧壁陡直度±1°，并且整体呈现典型的跨尺度特征。围绕现实需求，介绍了为满足高频电学器件核心技术指标要求而开展的微槽特征截面的控形技术、高频脉冲电加工电源技术、加工过程伺服控制技术、大长径比微结构特征随动走丝切槽技术等微细电火花加工关键技术；进行了完整器件的精密制造，并通过相关物理特性测试验证了器件的性能以及微细电火花加工技术在高频电学精密器件中的有效性。

文章关键词:

论文作者:张勇斌 荆奇 王晗 刘广民 袁伟然 李建原 

作者单位:中国工程物理研究院机械制造工艺研究所 

论文分类号:TG661

文章来源：《精密制造与自动化》 网址: http://www.jmzzyzdh.cn/qikandaodu/2022/0630/395.html